洗浄液温度測定用センサ
シリコンウェハ製造やデバイス化処理後の洗浄工程では、洗浄液の温度管理が、ウェハの品質劣化やクリーンルームの汚染回避のためにも重要になります。
センサは通常、金属保護管型やシース型抵抗体が広く使用されていますが、金属を使用した場合、洗浄液が汚染されるといった心配があります。 この問題の解決ため、弊社では外管にフッ素樹脂（FEP)、内管に石英を使用した、二重管構造を持つ抵抗体温度センサを商品化しました。
洗浄液温度測定用センサについて
・用途
半導体洗浄液・薬品温度の測定用に使用出来ます。その他、金属の溶出もしくは腐食する環境下での使用をお勧めします。
保護管部を曲げる必要がある場合には内管がFEPタイプの製作も出来ます。その他、FEP以外の各種テフロンでの保護管製作も可能です
・特長
・仕様
センサ ：セラミック白金測温抵抗体
抵抗値 ：100Ω（at 0℃）
階級 ：JIS B級 1mA（標準）
導線形式 ：3導線式
温度範囲 ：-100℃ ～ +200℃
保護管部材質：FEP（4.6フッ化樹脂）
保護管部外径：φ5ｍｍ（標準）
保護管部長さ：500ｍｍ（標準）
・センサ概要図
技術資料
・FEP、石英特性一覧表
・応答性
