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エピタキシャル炉などの高温かつ還元雰囲気中の炉内温度分布測定には、通常石英を保護管とした熱電対が広く使われています。
この場合、石英に破損が生じると熱電対及び絶縁管等による炉内汚染の問題が発生します。
この問題を回避するため、従来より金属保護管を特殊加工した熱電対もありますが、高価で規格外の卑金属熱電対を使用するため、コスト、精度に問題が残っていました。
そこで弊社は、従来考えられなかったモリブデン保護管に貴金属熱電対を一重管構造で収納する製法を独自の技術で可能にしました。
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特長
| (1) |
従来品に比べ低価格です。 |
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信頼性の高い貴金属熱電対を使用しているため、高精度の測温ができます。 |
| (3) |
モリブデン保護管は、還元雰囲気内で高温使用下においてもガスの発生はなく、炉内汚染の心配がありません。また、エピタキシャル反応中に発生する塩酸にも優れた耐食性があります。 |
| (3) |
一重管構造により応答速度が速く、小型で多点温度測定ができます。 |
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仕様
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| ●シース熱電対 |
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熱電対の種類 |
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TYPE R熱電対（素線径φ0.2mm） |
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シース外径 |
： |
φ1.0mm |
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シース材質 |
： |
Pt90%−Rh10% |
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誤差 |
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0〜600℃ ±1.5℃
600℃以上 測定温度の±0.25% |
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測温接点位置 |
： |
御指定 |
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| ●保護管 |
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材質 |
： |
モリブデン（純度99.99%） |
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サイズ |
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外径：最小φ5mm(シース熱電対3本収納）
長さ：御指定(但し、外径φ5mmでMAX.1000mm） |
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| ●最高使用温度 |
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1200℃ |
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センサ概要図
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