ホーム 温度計測事業 製品情報 熱電対・測温抵抗体 熱電対 被覆熱電対 測温抵抗体 補償導線 保護管・絶縁管 アクセサリ 無線温度計 ウエハモニタ用熱電対 プロフィール熱電対 ガラス基板モニタ用熱電対 チップスタイルTC 洗浄用温度計 エピタキシャル炉温度測定 厚膜半導体温度センサ 焼却炉内温度測定 シリコンウェハ製造やデバイス化処理後の洗浄工程では、洗浄液の温度管理が、ウェハの品質劣化やクリーンルームの汚染回避のためにも重要になります。 センサは通常、金属保護管型やシース型抵抗体が広く使用されていますが、金属を使用した場合、洗浄液が汚染されるといった心配があります。 この問題の解決ため、弊社では外管にフッ素樹脂（FEP)、内管に石英を使用した、二重管構造を持つ抵抗体温度センサを商品化しました。 用途 半導体洗浄液・薬品温度の測定用に使用出来ます。その他、金属の溶出もしくは腐食する環境下での使用をお勧めします。 保護管部を曲げる必要がある場合には内管がFEPタイプの製作も出来ます。その他、FEP以外の各種テフロンでの保護管製作も可能です。 特長 (1) 二重管構造により、洗浄液に対する保護性能が向上、センサの寿命が延長されます。 (2) 多くのフッ化樹脂の中でも耐浸透性、使用温度範囲に優れたFEP樹脂を外管に、熱伝導率は樹脂に対して大きく洗浄液や薬品の耐浸透性に優れた石英を内管に使用しています。 (3) 内管の石英が破損しても、外管のFEPがブロックするため、液槽内への石英破片の飛散がありません。 仕様 センサ ：セラミック白金測温抵抗体 抵抗値 ：100Ω（at 0℃） 階級 ：JIS B級 1mA（標準） 導線形式 ：3導線式 温度範囲 ：-100℃ 〜 +200℃ 保護管部 材質：FEP（4.6フッ化樹脂） 外径：φ5ｍｍ（標準） 長さ：500ｍｍ（標準） センサ概要図 FEP、石英特性一覧表 特　性 FEP 石英 物性値  熱伝導率（W/m・K） 0.25 1.5  比熱（J/g・K） 1.17 0.9  引っ張り強さ（MPa） 25（室温） 321（室温）  電気抵抗率（Ω/m） ＞1016 ＞1011 耐薬品性  フッ化水素酸の影響 影響無し 反応有り  塩酸、硫酸、硝酸の影響 影響無し 影響無し  アルカリの影響 影響無し 反応有り  SC-1溶剤の影響  組成：28％NH4OH：31％H2O2：H2O＝1：1：5 影響無し わずかに反応有り  SC-2溶剤の影響  組成：35〜37％HCl：31％H2O2：H2O＝1：1：5 影響無し 影響無し 応答性 条　　　件 タイプA タイプB タイプC 外管材質 FEP 内管材質 石英 FEP 無し 外径サイズ φ5mm 応答時間 63.2％ 18sec 26sec 15sec 100％ 106sec 158sec 87sec （*）上記データは外径φ5mmで、3タイプの保護管付測温抵抗体を沸騰水中に挿入し、応答速度を測定した結果です。