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ウエハ製造工場において、ウエハ温度を正確に測定することは品質管理上、非常に大切なことです。
ウエハモニタ用熱電対はウエハTCまたは、TCウエハと呼ばれているものと用途は同じですが、弊社では独自の構造で、ウエハに熱電対を埋め込み、固定してウエハ温度を測定する方法を開発しました。
このため熱電対をウエハに貼り付けた時にありがちな熱電対がウエハから簡単に外れてしまう問題がありません。使用する熱電対はK、Rより選択可能です。
半導体装置やプロセスの設計、評価など幅広く使用できます。
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特長
モニタ用熱電対は、ウエハに特殊な加工を施して取付けております。
ウエハには２箇所の貫通孔と熱電対の温接点を固定するためのざぐり穴が加工されており、このざぐり穴に熱電対の温接点を収め耐熱性の接着剤で固定しております。
この方法により、熱電対は簡単に外れないようになっております。
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用途
前工程での拡散、酸化、アニール、CVD、段階プラズマCVD、イオン注入、エピタキシャル成長等での使用が可能です。
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仕様
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| ●熱電対 |
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(1) |
TYPE K熱電対（標準）
素線径：φ0.13mm
酸化雰囲気や不活性ガス、真空雰囲気で使用が可能です。
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(2) |
TYPE R熱電対（高温仕様）
素線径：φ0.2mm
酸化雰囲気や不活性ガス、真空雰囲気で使用が可能です。
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| ●熱電対保護 |
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炉内側：アルミナ長繊維編組チューブまたは石英管
炉外側：テフロン
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| ●コネクタ部 |
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ポリイミドフラットケーブル |
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| ●端末処理 |
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熱電対用SMPコネクタ(１点用）
熱電対用D-Subコネクタ(多点用）
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ウエハ加工参考図
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