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KAWASO|川惣電機工業株式会社
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FPDやフォトマスク用基板の製造工程において、表面の温度分布を正確に測定することは品質管理上、非常に大切なことです。 チップスタイルTC、タイルスタイルTCは、独自の方法で熱電対をセットしております。この方法は、既にTCウエハや液晶ガラス基板で実績があり、熱電対を基板に貼り付けた時にありがちな熱電対が簡単に外れてしまうといった問題はありません。 チップスタイルTCは、貼り付け用熱電対素子として単独での販売もしております。また、ガラス基板のご支給で所定位置への貼り付け施工も請け賜っております。

用途
前工程での拡散、酸化、アニール、CVD、段階プラズマCVD等での使用。

特長
モニタ用熱電対は、ガラスチップに独自の加工を施して取付けていますので外れ、抜けなどが起こらない。 (ガラスチップには2箇所の貫通孔と熱電対の温接点を固定するためのざぐり穴が加工されており、このざぐり穴に熱電対の温接点を収め、耐熱性の接着剤で固定しております。)

仕様
●チップ
サイズ:3×3mm、厚み:0.7mm、材質:アルミノシリケート
●接着剤
高耐熱性完全無機質
●熱電対
(1) TYPE K熱電対(〜600℃)、素線径:φ0.13mm
酸化雰囲気や不活性ガス、真空雰囲気で使用が可能です。
(2) TYPE R熱電対(高温仕様) 素線径:φ0.2mm
酸化雰囲気や不活性ガス、真空雰囲気で使用が可能です。
●熱電対絶縁材種類
シリカ編組チューブ、石英管、ポリイミドチューブ、テフロンチューブ
●端末処理
素線、Y端子、SMPコネクタ


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