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对于平板显示器（FPD）制造工厂来说，正确测量基板温度对品质管理至关重要。
玻璃监控热电偶一般被称为玻璃基板TC或附带TC玻璃板，名称不同但用途一样。
本公司开发了一种玻璃温度测量方法：将热电偶埋入玻璃与之固定、通过采用这种独自的构造设计进行测温。
这种方法避免了热电偶有时从玻璃脱落的问题。热电偶可从K或R中选择。本产品适用于FPD装置，过程设计以及评价等众多领域。
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用途
可用于前工程时的扩散，氧化，退火，化学气相沉积 等离子体化学气相沉积
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特长
监控用热电偶是对玻璃板进行特殊加工装配而成的为了固定热电偶的温度接点，在玻璃板上的两个或三个部位加工了贯通孔穴。
将热电偶的温度接点收纳在贯通孔内，然后用耐热粘结剂固定。
通过这种方法，可以防止热电偶的脱落。
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规格
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| ●热电偶 |
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(1) |
TYPE K热电偶（标准）
偶丝径：φ0.13mm或φ0.2mm
适用于氧化，惰性气体及真空气氛。
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(2) |
TYPE R热电偶（高温规格）
偶丝径：φ0.2mm或φ0.1mm
适用于氧化，惰性气体及真空气氛。
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| ●热电偶薄膜 |
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炉内侧：硅涂层编织管或石英管或聚酰亚胺
炉外侧： 特氟隆
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| ●连接部 |
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聚酰亚胺扁平缆线 |
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| ●终端处理 |
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热电偶用SMP连接器（用于1点）
熱電対用D-Sub连接器(用于多点）
压接端子
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玻璃加工参考图
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