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对于晶圆制造工厂家来说，能否正确测量晶圆温度对品质管理的至关重要。晶圆监控用热电偶被称作晶圆TC或TC晶圆，虽称呼不同但用途是一样的。本公司开发了一种晶圆温度测量方法：将热电偶埋入晶圆与之固定、通过采用这种独自的构造设计进行测温。
这种方法避免了热电偶有时从晶圆脱落的问题。热电偶可从K或R中选择。本产品适用于半导体装置，过程设计以及评价等众多领域。
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特长
监控用热电偶是对晶圆进行特殊加工装配而成的。
为了固定热电偶的温度接点，在晶圆上的两个部位加工了贯通孔穴。将热电偶的温度接点收纳在贯通孔内，然后用耐热粘结剂固定。
通过这种方法，可以防止热电偶的脱落。
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用途
可用于晶圆加工时的扩散，氧化，退火，化学气相沉积 等离子体化学气相沉积，离子注入，外延生长。
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规格
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| ●热电偶 |
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(1) |
TYPE K热电偶（标准）
偶丝径：φ0.13mm
适用于氧化，惰性气体及真空气氛。
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(2) |
TYPE R热电偶（高温规格）
偶丝径：φ0.2mm
适用于氧化，惰性气体及真空气氛。
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| ●热电偶的保护 |
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炉内侧：氧化铝光纤编织管或石英管
炉外侧：特氟隆
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| ●连接部 |
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聚酰亚胺扁平电缆 |
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| ●终端处理 |
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热电偶用SMP连接器（用于1点）
熱電対用D-Sub连接器(用于多点）
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晶圆加工参考图
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